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潔凈室中的防靜電

   潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質(zhì)量的一個不可忽視的方面。

   所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負(fù)<一）電荷等量的均勻的電中性狀態(tài)，而使電荷過剩，物體呈帶電狀態(tài)，由于這些電荷平時是不流動的，故稱靜電。

   在潔凈室內(nèi)靜電導(dǎo)致的事故有以下幾方面；

   1．靜電電引起的靜電電擊，引起人的不安全和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷)；

   2-靜電放電引起的放電電流，可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動作，例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內(nèi)，搖晃數(shù)次后，與非門柵極嚴(yán)重?fù)舸┱哂?jì)39塊，失效率競達(dá)78%，這是因?yàn)榘雽?dǎo)體器件對靜電放電十分靈敏（見表1-21）

   3．靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導(dǎo)致電子儀器和裝置的雜音和誤動作

   4．靜電放電的發(fā)光可導(dǎo)致照像肢片等感光破壞；

   5．靜電的力學(xué)現(xiàn)象可導(dǎo)致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；

   6．靜電放電引起的最危險的災(zāi)害是成為可燃物的火源井引起爆炸，例如國外文獻(xiàn)統(tǒng)計(jì)，在手術(shù)室使用爆炸性麻醉劑的86000次中，爆炸的36次，其中由靜電引起的達(dá)21次。

   靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累，而氣流的流動，氣流和管道、風(fēng)口、過濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產(chǎn)生靜電，在一般情況下，越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體（絕緣體），由于電荷產(chǎn)生后不易流動，因此表現(xiàn)為越容易帶電。

   靜電問題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重，是因?yàn)椴坏跐崈羰抑芯邆淝笆霎a(chǎn)生靜電的多種工藝因素，而且因?yàn)闈崈羰抑械脑S多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都極易產(chǎn)生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的。表1- 22列舉了國內(nèi)兩次測定數(shù)據(jù)。

   表1—23列舉在進(jìn)行超高頻晶體管和超高頻二極管的各道工序中，操作人員身上的電位

   穿棉工作服時，操作人員身上電位最小(  50—200V)，穿某些合成材料制的服裝的操作人員，身上電位在2500 V以上，最高可達(dá)10KV以上，而且所有上述這些數(shù)值還不是最高值。

   為防址潔凈室的靜電電擊，必須注意靜電電擊的界限。

   1．人體發(fā)生靜電電擊的界限

   一般情況下人體帶靜電電位達(dá)到3KV以上就產(chǎn)生電擊。表l一24列出了人體帶電與發(fā)生靜電電擊的關(guān)系，此時人體靜電容量為90PF，而當(dāng)人體坐在椅子上或穿薄底鞋時，其  靜電容量比100PF大，所以電擊電位比表中所列的還要小。

   2．帶電物體是導(dǎo)體時，發(fā)生靜電電擊界限。圖1-13列出了這一靜電電擊界限。

   3．帶電物體是非導(dǎo)體時，發(fā)生靜電電擊界限。

   帶電物體是非導(dǎo)體時，靜電電擊的帶電電位大約為lOkV。

   為了防止對人的靜電電擊，對人隨時都在接觸的室內(nèi)地面的泄漏電阻有一定要求，即為了使人體靜電能通過地面盡快泄漏于大地而不發(fā)生放電甚至電擊，該阻值越小越好，一般根據(jù)工作環(huán)境性質(zhì)要求

如表l一25所列。表中電阻值是對已敷設(shè)好的地面測得的，不是材料的測定值。