一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室,包括一大型潔凈空間及回風(fēng)通道;大型潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間、潔凈空間和循環(huán)空間,所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)有生產(chǎn)輔助設(shè)備;所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)置生產(chǎn)輔助設(shè)備的區(qū)域的四周均設(shè)有隔板,使其構(gòu)成獨(dú)立的密閉空間;在所述潔凈空間內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置設(shè)有至少1個(gè)回風(fēng)柱,所述回風(fēng)柱的頂端與架構(gòu)空間連通,其底端與高架地板連通;所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有風(fēng)機(jī)。本實(shí)用新型解決了生產(chǎn)輔助設(shè)備易產(chǎn)生泄漏的問(wèn)題;與此同時(shí),在潔凈空間內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置設(shè)置多個(gè)回風(fēng)柱,通過(guò)回風(fēng)柱實(shí)現(xiàn)氣流循環(huán),同時(shí)還充分利用了其內(nèi)的潔凈空氣,而且降低了消耗。
【專利說(shuō)明】一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室,是指用于半導(dǎo)體的生產(chǎn)場(chǎng)合。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體廠房是專門用來(lái)制備半導(dǎo)體器件的地方,目前已經(jīng)得到了廣泛應(yīng)用。由于半導(dǎo)體器件的特殊性,要求半導(dǎo)體廠房必須設(shè)計(jì)成潔凈室,以滿足恒溫恒濕以及潔凈度等要求。對(duì)于一些高端半導(dǎo)體的生產(chǎn)廠房,如32/28nm,甚至以下的高端制程,不但對(duì)潔凈度的要求較高,且對(duì)漂浮于空氣中的懸浮化學(xué)分子氣體污染更為嚴(yán)格。
[0003]現(xiàn)有的用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室參見(jiàn)附圖1所示,主要包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)和一大型潔凈空間,所述大型潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間4、潔凈空間5和循環(huán)空間6,架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板7,潔凈空間和循環(huán)空間之間設(shè)有高架地板2和混凝土板3。
[0004]所述大型潔凈空間內(nèi)設(shè)有各種加工設(shè)備,在循環(huán)空間(又稱技術(shù)夾層)內(nèi)會(huì)設(shè)有各種生產(chǎn)輔助設(shè)備1,如真空泵、冷凍機(jī)等,實(shí)際應(yīng)用發(fā)現(xiàn):真空泵會(huì)因?yàn)檎饎?dòng)而松脫,導(dǎo)致氣體泄漏;冷凍機(jī)的配管在清洗過(guò)程中因未鎖緊或接頭松動(dòng)而泄漏腐蝕性氣體。在以往的案例中,尤其是干刻蝕區(qū)會(huì)經(jīng)常發(fā)生上述事故,導(dǎo)致腐蝕性氣體泄漏,這不僅會(huì)造成導(dǎo)線腐蝕,而且這些腐蝕性氣體還會(huì)通過(guò)回風(fēng)通道進(jìn)入整個(gè)潔凈空間,造成散布擴(kuò)散,從而影響了產(chǎn)品的質(zhì)量。這種因?yàn)槲挥谘h(huán)空間內(nèi)的生產(chǎn)輔助設(shè)備泄漏而造成整個(gè)潔凈空間的污染事件時(shí)有發(fā)生。
[0005]針對(duì)上述問(wèn)題,現(xiàn)有技術(shù)采用的方法是在潔凈室內(nèi)設(shè)置化學(xué)過(guò)濾器,但由于潔凈室內(nèi)的空間較大,很難做到完全清除,且該法的成本極高;這對(duì)于一些高端半導(dǎo)體的生產(chǎn)廠房(如32/28nm高端制程)是非常致命的,原因是高端半導(dǎo)體產(chǎn)品對(duì)腐蝕性氣體的含量要求更高。因此,開(kāi)發(fā)一種能避免腐蝕性氣體影響的潔凈室,對(duì)于一些高端半導(dǎo)體的生產(chǎn)廠房具有積極的現(xiàn)實(shí)意義。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型的目的是提供一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室。
[0007]為達(dá)到上述發(fā)明目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室,包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)和一大型潔凈空間及回風(fēng)通道;
[0008]所述大型潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間、潔凈空間和循環(huán)空間,架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板,潔凈空間和循環(huán)空間之間設(shè)有高架地板和混凝土板;所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)有生產(chǎn)輔助設(shè)備;
[0009]所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)置生產(chǎn)輔助設(shè)備的區(qū)域的四周均設(shè)有隔板,使其構(gòu)成獨(dú)立的密閉空間;循環(huán)空間內(nèi)還設(shè)有連通管,連通管的一端與所述密閉空間連通,另一端與潔凈室的外界連通;
[0010]在所述潔凈空間內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置設(shè)有至少I個(gè)回風(fēng)柱,所述回風(fēng)柱的頂端與架構(gòu)空間連通,其底端與高架地板連通;
[0011]所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有風(fēng)機(jī)。
[0012]上文中,所述循環(huán)空間內(nèi)還設(shè)有連通管,其與所述密閉空間連通,從而當(dāng)生產(chǎn)輔助設(shè)備產(chǎn)生泄漏時(shí),可以通過(guò)連通管將腐蝕性氣體排出。在連通管的出口處,還可以設(shè)置洗滌塔。連通管上還可以設(shè)有閥門。
[0013]本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置隔板將循環(huán)空間內(nèi)設(shè)置生產(chǎn)輔助設(shè)備的區(qū)域隔離出來(lái),從而解決了生產(chǎn)輔助設(shè)備易產(chǎn)生泄漏的問(wèn)題。然而,與此同時(shí),由于循環(huán)空間的封閉設(shè)置,導(dǎo)致其上方的潔凈空間的氣流循環(huán)無(wú)法完成,因此,在潔凈空間內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置設(shè)置多個(gè)回風(fēng)柱,通過(guò)回風(fēng)柱實(shí)現(xiàn)氣流循環(huán)。至于回風(fēng)柱的數(shù)量,應(yīng)當(dāng)根據(jù)實(shí)際情況設(shè)定。
[0014]所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有風(fēng)機(jī)。風(fēng)機(jī)的作用是使其內(nèi)的氣體向上流動(dòng),形成氣流循環(huán)。
[0015]由于回風(fēng)柱的設(shè)置,其對(duì)應(yīng)的潔凈空間可以順利的完成氣流循環(huán),因此其兩側(cè)的回風(fēng)通道就成了擺設(shè),因此,可以將回風(fēng)通道取消,改造成正常的潔凈空間使用,增加可用空間。
[0016]上述技術(shù)方案中,所述架構(gòu)空間和高架地板內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置均設(shè)有隔板,使所述密閉空間上方的架構(gòu)空間、潔凈空間,以及高架地板所在的空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)。
[0017]優(yōu)選的,所述架構(gòu)空間、高架地板和潔凈空間內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置均設(shè)有隔板,使所述密閉空間上方的架構(gòu)空間、潔凈空間,以及高架地板所在的空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)。
[0018]上述技術(shù)方案中,所述密閉空間的頂端設(shè)有密封板,所述密封板設(shè)于高架地板和混凝土板之間。
[0019]上述技術(shù)方案中,所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有干盤管。以進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)。在某些生產(chǎn)區(qū)域,設(shè)備發(fā)熱量低但潔凈風(fēng)需求量多,造成實(shí)際需要通過(guò)干盤管的風(fēng)量比真正通過(guò)的風(fēng)量多,形成能源浪費(fèi)。此時(shí)還可以在天花板上增設(shè)回風(fēng)口,搭配回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)置的干盤管,而獲得上述問(wèn)題的較好解決。
[0020]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用,本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):
[0021]1、本實(shí)用新型設(shè)計(jì)得到了一種新的用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室,通過(guò)設(shè)置隔板將循環(huán)空間內(nèi)設(shè)置生產(chǎn)輔助設(shè)備的區(qū)域隔離出來(lái),從而解決了生產(chǎn)輔助設(shè)備易產(chǎn)生泄漏的問(wèn)題;與此同時(shí),由于循環(huán)空間的封閉設(shè)置,導(dǎo)致其上方的潔凈空間的氣流循環(huán)無(wú)法完成,因此在潔凈空間內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置設(shè)置多個(gè)回風(fēng)柱,通過(guò)回風(fēng)柱實(shí)現(xiàn)氣流循環(huán),同時(shí)還充分利用了其內(nèi)的潔凈空氣,而且降低了消耗;
[0022]2、本實(shí)用新型在循環(huán)空間內(nèi)還設(shè)置了連通管,其與所述密閉空間連通,從而當(dāng)生產(chǎn)輔助設(shè)備產(chǎn)生泄漏時(shí),可以通過(guò)連通管將腐蝕性氣體排出;在連通管的出口處,還可以設(shè)置洗滌塔;從而較好地解決了生產(chǎn)輔助設(shè)備的泄漏問(wèn)題,且避免了腐蝕性氣體影響的潔凈室;
[0023]3、本實(shí)用新型在架構(gòu)空間和高架地板內(nèi)相對(duì)于密閉空間的位置均設(shè)有隔板,使所述密閉空間上方的架構(gòu)空間、潔凈空間,以及高架地板所在的空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu),再配合其內(nèi)的回風(fēng)柱,構(gòu)成了潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu),從而充分利用了其內(nèi)的空間;且回風(fēng)柱可以在潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)中形成微循環(huán),不僅充分利用了其內(nèi)的潔凈空氣,而且降低了消耗;
[0024]4、本實(shí)用新型在回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)置干盤管,可以進(jìn)行溫度調(diào)節(jié);解決了某些生產(chǎn)區(qū)域設(shè)備發(fā)熱量低但潔凈風(fēng)需求量多,造成實(shí)際需要通過(guò)干盤管的風(fēng)量比真正通過(guò)的風(fēng)量多而形成的能源浪費(fèi)問(wèn)題;
[0025]5、本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于制備,適于推廣應(yīng)用。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0026]圖1是【背景技術(shù)】中的潔凈室的局部剖視圖;
[0027]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例一的局部剖視圖;
[0028]圖3是圖2的氣流示意圖;
[0029]圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例二的局部剖視圖;
[0030]圖5是圖4的氣流示意圖。
[0031]其中:1、生產(chǎn)輔助設(shè)備;2、高架地板;3、混凝土板;4、架構(gòu)空間;5、潔凈空間;6、循環(huán)空間;7、天花板;8、隔板;9、回風(fēng)柱;10、風(fēng)機(jī);11、第二隔板;12、密封板;13、干盤管。
【具體實(shí)施方式】
[0032]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0033]實(shí)施例一
[0034]參見(jiàn)圖2?3所示,一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室,包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)和一大型潔凈空間及回風(fēng)通道;
[0035]所述大型潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間4、潔凈空間5和循環(huán)空間6,架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板7,潔凈空間和循環(huán)空間之間設(shè)有高架地板和混凝土板;所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)有生產(chǎn)輔助設(shè)備;
[0036]所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)置生產(chǎn)輔助設(shè)備的區(qū)域的四周均設(shè)有隔板8,使其構(gòu)成獨(dú)立的密閉空間;循環(huán)空間內(nèi)還設(shè)有連通管,連通管的一端與所述密閉空間連通,另一端與潔凈室的外界連通;
[0037]在所述潔凈空間內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置設(shè)有至少I個(gè)回風(fēng)柱9,所述回風(fēng)柱的頂端與架構(gòu)空間連通,其底端與高架地板連通;
[0038]所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有風(fēng)機(jī)10。所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有干盤管13。
[0039]所述架構(gòu)空間和高架地板內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置均設(shè)有第二隔板11,使所述密閉空間上方的架構(gòu)空間、潔凈空間,以及高架地板所在的空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)。
[0040]所述密閉空間的頂端設(shè)有密封板12,所述密封板設(shè)于高架地板和混凝土板之間。
[0041]上文中,所述循環(huán)空間內(nèi)還設(shè)有連通管,其與所述密閉空間連通,從而當(dāng)生產(chǎn)輔助設(shè)備產(chǎn)生泄漏時(shí),可以通過(guò)連通管將腐蝕性氣體排出。在連通管的出口處,還可以設(shè)置洗滌塔。連通管上還可以設(shè)有閥門。
[0042]本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置隔板將循環(huán)空間內(nèi)設(shè)置生產(chǎn)輔助設(shè)備的區(qū)域隔離出來(lái),從而解決了生產(chǎn)輔助設(shè)備易產(chǎn)生泄漏的問(wèn)題。然而,與此同時(shí),由于循環(huán)空間的封閉設(shè)置,導(dǎo)致其上方的潔凈空間的氣流循環(huán)無(wú)法完成,因此,在潔凈空間內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置設(shè)置多個(gè)回風(fēng)柱,通過(guò)回風(fēng)柱實(shí)現(xiàn)氣流循環(huán)。至于回風(fēng)柱的數(shù)量,應(yīng)當(dāng)根據(jù)實(shí)際情況設(shè)定。
[0043]所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有風(fēng)機(jī)。風(fēng)機(jī)的作用是使其內(nèi)的氣體向上流動(dòng),形成氣流循環(huán)。
[0044]由于回風(fēng)柱的設(shè)置,其對(duì)應(yīng)的潔凈空間可以順利的完成氣流循環(huán),因此其兩側(cè)的回風(fēng)通道就成了擺設(shè),因此,可以將回風(fēng)通道取消,改造成正常的潔凈空間。
[0045]實(shí)施例二
[0046]參見(jiàn)圖4飛所示,一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室,包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)和一大型潔凈空間及回風(fēng)通道;
[0047]所述大型潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間、潔凈空間和循環(huán)空間,架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板,潔凈空間和循環(huán)空間之間設(shè)有高架地板和混凝土板;所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)有生產(chǎn)輔助設(shè)備;
[0048]所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)置生產(chǎn)輔助設(shè)備的區(qū)域的四周均設(shè)有隔板8,使其構(gòu)成獨(dú)立的密閉空間;循環(huán)空間內(nèi)還設(shè)有連通管,連通管的一端與所述密閉空間連通,另一端與潔凈室的外界連通;
[0049]在所述潔凈空間內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置設(shè)有至少I個(gè)回風(fēng)柱,所述回風(fēng)柱的頂端與架構(gòu)空間連通,其底端與高架地板連通;
[0050]所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有風(fēng)機(jī)。所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有干盤管。
[0051]所述架構(gòu)空間、高架地板和潔凈空間內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置均設(shè)有第二隔板11,使所述密閉空間上方的架構(gòu)空間、潔凈空間,以及高架地板所在的空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室,包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)和一大型潔凈空間及回風(fēng)通道; 所述大型潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間(4)、潔凈空間(5)和循環(huán)空間(6),架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板(7),潔凈空間和循環(huán)空間之間設(shè)有高架地板(2)和混凝土板(3);所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)有生產(chǎn)輔助設(shè)備;其特征在于: 所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)置生產(chǎn)輔助設(shè)備的區(qū)域的四周均設(shè)有隔板(8),使其構(gòu)成獨(dú)立的密閉空間;循環(huán)空間內(nèi)還設(shè)有連通管,連通管的一端與所述密閉空間連通,另一端與潔凈室的外界連通; 在所述潔凈空間內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置設(shè)有至少I個(gè)回風(fēng)柱(9),所述回風(fēng)柱的頂端與架構(gòu)空間連通,其底端與高架地板連通; 所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有風(fēng)機(jī)(10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室,其特征在于:所述架構(gòu)空間和高架地板內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置均設(shè)有第二隔板(11),使所述密閉空間上方的架構(gòu)空間、潔凈空間,以及高架地板所在的空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的潔凈室,其特征在于:所述架構(gòu)空間、高架地板和潔凈空間內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置均設(shè)有第二隔板,使所述密閉空間上方的架構(gòu)空間、潔凈空間,以及高架地板所在的空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室,其特征在于:所述密閉空間的頂端設(shè)有密封板(12),所述密封板設(shè)于高架地板和混凝土板之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室,其特征在于:所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有干盤管(13)。
【文檔編號(hào)】F24F7/10GK203783198SQ201420120184
【公開(kāi)日】2014年8月20日 申請(qǐng)日期:2014年3月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月18日
【發(fā)明者】楊政諭 申請(qǐng)人:亞翔系統(tǒng)集成科技(蘇州)股份有限公司
本文標(biāo)簽:潔凈室